ウェハ搬送ロボット | 川崎重工の産業用ロボット https://kawasakirobotics.com/jp/robots-category/wafer/ Fri, 28 Apr 2023 08:33:28 +0000 ja hourly 1 https://www.altis-dxp.com/?v=6.2.4 https://kawasakirobotics.com/tachyon/sites/3/2022/02/cropped-site-icon.png?fit=32%2C32 ウェハ搬送ロボット | 川崎重工の産業用ロボット https://kawasakirobotics.com/jp/robots-category/wafer/ 32 32 ウェハ搬送ロボット https://kawasakirobotics.com/jp/robots-category/wafer/ Tue, 01 Feb 2022 05:34:38 +0000 urn:uuid:d33518c0-a8db-4950-94fc-912caee3b307 世界トップシェアを誇る川崎重工のウェハ搬送ロボット。
独自の駆動機構により、高精度・高剛性な動作を実現しています。
SEMI-F47規格（半導体装置の電圧降下規格）とSEMI-S2規格（半導体製造装置の安全ガイドライン）に対応しています。
リングフレームや基板搬送にも対応できます。

NTJシリーズ

独自の駆動構造により、高精度かつなめらかな動きを実現

NTJ10

NTJ10

  • 最大可搬質量 —
  • 最大リーチ 1067.2mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ NTJシリーズ
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NTJ20

NTJ20

  • 最大可搬質量 —
  • 最大リーチ 1067.2mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ NTJシリーズ
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TTJシリーズ

テレスコピック機構を採用し、低位置へのパスラインと高位置への搬送を両立

TTJ10

TTJ10

  • 最大可搬質量 —
  • 最大リーチ 1067.2mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ TTJシリーズ
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TTJ20

TTJ20

  • 最大可搬質量 —
  • 最大リーチ 1067.2mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ TTJシリーズ
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NTHシリーズ

回転中心をずらしたロングアームにより、走行装置無しで4FOUP装置に対応

NTH20

NTH20

  • 最大可搬質量 —
  • 最大リーチ 1226.6mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ NTHシリーズ
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NXシリーズ

コンパクトなアーム設計により、省スペースでの設置が可能

NX420

NX420

  • 最大可搬質量 —
  • 最大リーチ 736mm
  • 適用用途 ウェハ搬送
  • ロボットカテゴリ ウェハ搬送ロボット
  • 設置方式 床置き
  • シリーズ NXシリーズ
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ロボット導入を検討してみませんか？

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