晶圓傳送機器人 | Industrial Robots by Kawasaki Robotics https://kawasakirobotics.com/tw/robots-category/wafer/ Thu, 22 Feb 2024 08:16:41 +0000 zh-TW hourly 1 https://www.altis-dxp.com/?v=6.2.4 https://kawasakirobotics.com/tachyon/sites/36/2022/02/cropped-site-icon.png?fit=32%2C32 晶圓傳送機器人 | Industrial Robots by Kawasaki Robotics https://kawasakirobotics.com/tw/robots-category/wafer/ 32 32 晶圓傳送機器人 https://kawasakirobotics.com/tw/robots-category/wafer/ Tue, 08 Feb 2022 05:10:10 +0000 urn:uuid:dd43c118-f1ac-4c8e-88d8-c03f400c1669 Kawasaki has the No.1 market share in the wafer transfer clean robots.
The original drive mechanism provides highly accurate and rigid operations.
A single robot can access 2, 3 and 4FOUPs of EFEM without a track.
Compatible with SEMI-F47 and SEMI-S2 standards.
Transfers of ring frames and substrates are possible.
＊ Contact Kawasaki representative for details.

NTJ系列

■Original drive mechanism provides highly accurate and smooth operations.

NTJ20

NTJ20

  • 有效載荷 —
  • 最大臂長範圍 1067.2mm
  • 應用 矽晶片處理
  • 機器人類別 晶圓傳送機器人
  • 安裝 地面
  • 系列 NTJ系列
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NTJ10

NTJ10

  • 有效載荷 —
  • 最大臂長範圍 1067.2mm
  • 應用 矽晶片處理
  • 機器人類別 晶圓傳送機器人
  • 安裝 地面
  • 系列 NTJ系列
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TTJ系列

■ High-speed transfer in high and low pass-lines, thanks to a unique highrigidity telescopic mechanism.

TTJ10

  • 有效載荷 —
  • 最大臂長範圍 1067.2mm
  • 應用 矽晶片處理
  • 機器人類別 晶圓傳送機器人
  • 安裝 地面
  • 系列 TTJ系列
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TTJ20

TTJ20

  • 有效載荷 —
  • 最大臂長範圍 1067.2mm
  • 應用 矽晶片處理
  • 機器人類別 晶圓傳送機器人
  • 安裝 地面
  • 系列 TTJ系列
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NTH系列

■The long arm that is offset from the center of the base can access 4FOUP without a track.

NTH20

NTH20

  • 有效載荷 —
  • 最大臂長範圍 1226.6mm
  • 應用 矽晶片處理
  • 機器人類別 晶圓傳送機器人
  • 安裝 地面
  • 系列 NTH系列
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NX系列

■ Installation in a small space is possible, thanks to its compact arm construction.

NX420

NX420

  • 有效載荷 —
  • 最大臂長範圍 736mm
  • 應用 矽晶片處理
  • 機器人類別 晶圓傳送機器人
  • 安裝 地面
  • 系列 NX系列
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